半導(dǎo)體燒結(jié)石墨載具的操作技能
半導(dǎo)體燒結(jié)石墨載具的操作技能主要觸及模具的預(yù)處理、組裝、填充粉末、燒結(jié)參數(shù)設(shè)置、燒結(jié)進(jìn)程監(jiān)控以及冷卻和脫模等進(jìn)程。以下是對(duì)這些操作技能的具體解析:
一、模具預(yù)處理
清洗:對(duì)石墨載具進(jìn)行完全的清洗,去除表面的油污、塵土等雜質(zhì),以保證模具在燒結(jié)進(jìn)程中不受雜質(zhì)影響,保證燒結(jié)質(zhì)量。
二、模具組裝
部件識(shí)別:了解石墨載具的各個(gè)部件,如第一上壓頭、上石墨墊片、第二上壓頭、內(nèi)石墨套筒、下石墨墊片、第二下壓頭、第一下壓頭號(hào)。
組裝次第:依照規(guī)劃要求依次組裝石墨載具的各個(gè)部件,保證各部件之間的緊密配合,避免在燒結(jié)進(jìn)程中出現(xiàn)漏粉或壓力不均的情況。
三、填充粉末
粉末選擇:依據(jù)燒結(jié)工藝和產(chǎn)品要求選擇適合的粉末資料。
填充辦法:將待燒結(jié)的粉末資料均勻填充到石墨載具的反響室內(nèi),保證粉末的密度和分布滿意工藝要求。有時(shí)需求在粉末中加入必定量的粘結(jié)劑或其他添加劑,以行進(jìn)成型作用和燒結(jié)功能。
四、燒結(jié)參數(shù)設(shè)置
溫度設(shè)置:依據(jù)待燒結(jié)資料的特性和工藝要求,設(shè)置適合的燒結(jié)溫度。需求留心的是,當(dāng)燒結(jié)溫度高于必定值(如1000℃或1500℃)時(shí),或許需求運(yùn)用碳?xì)职>咭员Wo(hù)其不受高溫危害。
壓力與時(shí)刻:設(shè)置適合的燒結(jié)壓力和時(shí)刻,以保證粉末顆粒能夠充沛結(jié)組成細(xì)密的金屬零件。
五、燒結(jié)進(jìn)程監(jiān)控
溫度監(jiān)控:接近監(jiān)控?zé)Y(jié)設(shè)備的溫度,保證燒結(jié)進(jìn)程在設(shè)定的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。
壓力監(jiān)控:監(jiān)控?zé)Y(jié)進(jìn)程中的壓力改動(dòng),保證壓力安穩(wěn)且符合工藝要求。
情況查詢:留心查詢模具和粉末的情況,如有反常情況(如漏粉、壓力不平等)應(yīng)及時(shí)處理。
六、冷卻與脫模
冷卻辦法:燒結(jié)完成后,將石墨載具從燒結(jié)設(shè)備中取出,并進(jìn)行天然冷卻或強(qiáng)制冷卻。冷卻速度要依據(jù)資料的特性和工藝要求來承認(rèn),以避免因冷卻過快而導(dǎo)致資料開裂等問題。
脫模操作:待模具冷卻至室溫后,進(jìn)行脫模操作。因?yàn)槭>呔哂谐錾臐?rùn)滑性和耐高溫性,脫模一般比較簡(jiǎn)單。但在操作進(jìn)程中仍要小心翼翼,避免損壞燒結(jié)后的制品。
綜上所述,半導(dǎo)體燒結(jié)石墨載具的操作技能需求掌握模具的預(yù)處理、組裝、填充粉末、燒結(jié)參數(shù)設(shè)置、燒結(jié)進(jìn)程監(jiān)控以及冷卻和脫模等要害進(jìn)程。這些技能關(guān)于保證燒結(jié)進(jìn)程的安穩(wěn)進(jìn)行和獲得高質(zhì)量的燒結(jié)產(chǎn)品至關(guān)重要。
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